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無塵室凈化設計 2024-02-10
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無塵室的分類nn按使用功能分:有潔凈區(一般稱百級、千級以上)和非潔凈區。其中非潔凈區內可設局部排風系統;潔凈室內應設有送風和回風量調節裝置及空氣過濾器等設備。nn(1)潔凈車間分為1A、1B兩種等級,1C為特殊要求的車間。2D以上屬于超凈車間。3E~F屬微電腦控制的無菌環境。4G~H是高效過濾的空調廠房;5I~J是無菌包裝材料生產車間的統稱;6K~L是屬于電子行業的精密機械加工車間或組裝生產線。nn(2)無菌操作臺可分為普通型和無紡布抗菌型2種類型。nn(3)根據不同的應用場合和需要,可采用多種形式的空氣凈化措施:1采用層流罩式;2采用循環風機;3采用負壓通風;4利用自然對流通氣方式;5用活性炭濾料進行吸附過濾等等......nn(4)在保證一定換氣和風速條件下,氣流速度愈低則污染顆粒濃度就高。因此,為了達到較高的清潔度標準值時宜選用較低的風速。nn(5)對于不同粒徑塵埃粒子所要求的除塵效果也不同,如大于5μm以上的灰塵需通過靜電場作用使粉塵荷電而沉積下來;1um以下的微粒可通過重力沉降而使它們降落到地面上來。所以應根據實際工況條件選擇適當的工藝參數以獲得最佳的除塵效率指標。nn(6)由于被處理的氣體中含有大量的水蒸氣和其他揮發性物質以及固體懸浮物,這些物質的含量直接影響著處理效果的優劣,所以在設計時應考慮必要的除濕設備和相應的輔助設施。nn(7 ) 在某些情況下還應設置加熱器和加濕器來改善氣體的濕度狀況并防止微生物的生長繁殖。nn(8). 對于含有腐蝕性介質的生產過程而言.應在進風口處加裝阻火網以防止火災發生。nn(9 . 根據生產工藝的需要可在凈化區域內布置管道井、地溝、吊裝平臺等結構形式以滿足生產和安全的要求。nn(10). 當需要在同一空間內同時實現幾種工藝目的時.可將各段凈化區的長度錯開以減少占地面積。nn(11). 對一些特殊的工序也可采取分段獨立的凈化方法以達到提高工作效率的目的。例如半導體工業中擴散硅晶片制造過程中的清洗程序可以分成若干個階段來完成,每階段的凈化區域相互獨立且具有各自的控制系統。nn

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